一种阿基米德螺旋线阳极旋转扫描电铸装置
本发明公开了一种阿基米德螺旋线阳极旋转扫描电铸装置,属于电铸技术领域。所述阿基米德螺旋线阳极由宽度50μm、纯度99.999%的铂制成,居中嵌入线阳极载盘中,极坐标方程为,电铸时阴极载板随转轴以0.1~20r/s的转速旋转,实现阴极全域电场均匀覆盖;装置配备0.5~4mm的可调两极间间隙,线阳极载盘中心开有供液通道,且载盘与阴极载板平行、间距可调。该螺旋线阳极结构能解决传统辐射状阳极电场不均问题;流量‑转速协同作用,可抵消阴极旋转离心力,维持极间离子浓度稳定;连续螺旋结构还能消除非有效工作时间。本发明有效抑制边缘效应与气泡缺陷,提升沉积均匀性、电铸效率及沉积层性能,适用于芯片类圆盘状阴极基底的高精度电铸制造。