一种阿基米德螺旋线阳极旋转扫描电铸装置

本发明公开了一种阿基米德螺旋线阳极旋转扫描电铸装置，属于电铸技术领域。所述阿基米德螺旋线阳极由宽度50μm、纯度99.999%的铂制成，居中嵌入线阳极载盘中，极坐标方程为，电铸时阴极载板随转轴以0.1~20r/s的转速旋转，实现阴极全域电场均匀覆盖；装置配备0.5~4mm的可调两极间间隙，线阳极载盘中心开有供液通道，且载盘与阴极载板平行、间距可调。该螺旋线阳极结构能解决传统辐射状阳极电场不均问题；流量‑转速协同作用，可抵消阴极旋转离心力，维持极间离子浓度稳定；连续螺旋结构还能消除非有效工作时间。本发明有效抑制边缘效应与气泡缺陷，提升沉积均匀性、电铸效率及沉积层性能，适用于芯片类圆盘状阴极基底的高精度电铸制造。