台州光电产业创新中心

本发明公开了一种基于机械共轴的激光扫描光路综合校准装置及方法，装置包括：校准镜筒，其具有与物镜系统相匹配的安装接口，用于安装至物镜安装座，使校准镜筒的机械轴线与物镜系统的安装轴线重合；分光元件，设置于校准镜筒内，用于将入射的上游光束分为第一检测光束和第二检测光束；第一检测通道，包括沿第一检测光束传播方向设置的位置靶标和第一检测相机，第一检测相机用于采集上游光束在位置靶标上的位置信息；第二检测通道，包括沿第二检测光束传播方向设置的角度检测透镜和第二检测相机，第二检测相机设置于角度检测透镜的后焦面，用于采集上游光束的角度信息。本发明具有检测效率更高、检测精度更优、结构更为紧凑等优点。

本发明公开了一种半导体激光器芯片测试装置，包括测试底座和测试平台，测试平台上设有多个安装槽，安装槽内设有限位框；安装槽内滑动设有两组对称的定位件、调节件及驱动杆；定位件一端设有延伸至限位框内的夹板，定位件与限位框之间设有第一弹性组件；调节件与两定位件通过倾斜面配合，使其移动时推动两定位件同步相向移动夹持芯片；驱动杆与调节件之间设有弹性系数更大的第二弹性组件；测试平台上螺纹连接有螺柱，螺柱侧壁设有坡面通槽，螺柱旋转下降时通过坡面同步推动各驱动杆，实现多芯片同步自动夹持定位，并能自适应兼容不同型号芯片的同步夹持，显著提高作用效率。