№ CN122943769A발명
알 수 없음一种半导体三坐标检测设备
本发明公开了一种半导体三坐标检测设备,属于半导体检测领域,包括框架,所述框架的顶部滑动连接有驱动机构;所述驱动机构的前侧可拆卸连接有检测机构;所述检测机构与所述驱动机构固定连接,所述检测机构的底部固定连接有去除机构;所述去除机构包括与所述检测机构固定连接的圆柱,所述圆柱的底部固定连接有检测针。通过在检测针外围设置由限位件、限位杆和翻转板组成的预处理机构,在检测针接触工件之前,限位杆率先与测点边缘接触,并在圆珠与导向槽的配合下带动刮盘对测点表面进行双向旋转刮削,这一结构将毛刺清理与测针保护合二为一,既保证了测点表面的清洁度,又避免了测针直接接触残留物。
❖徕司仪器科技(江苏)有限公司郝建雄; 郝建伟; 何平Oct 20, 2026§ 1/10 청구항G01B 21/00 (2006.01), B08B 1/16 (2024.01), B08B 1/36 (2024.01) +1