이름 기준 검색 결과이며 법적 주체의 동일성을 확인한 것이 아닙니다. 동명인·조직, 별칭 및 이전 이름을 자동 통합하지 않습니다.

원본 XML의 개별 출원인 노드에서 추출한 이름입니다.

색인된 특허 기록 1건

특허 건수는 이 사이트에 수록된 중복 없는 특허 기록 수이며 출원인의 전체 특허 수가 아닙니다. 공동 명의 문자열은 단일 기업을 뜻하지 않습니다.

검증된 수록 기간과 마지막 가져오기 시간은 현재 제공되지 않습니다. 공개일은 가져오기 날짜가 아닙니다. 캐시로 인해 새 기록의 표시가 지연될 수 있습니다.

로컬 원본 출원인 필드에 이 전체 문자열이 포함된 기록을 검색합니다. 공동 명의나 더 긴 이름이 포함될 수 있으며 정확한 주체 검색이 아닙니다.

一种用于MPCVD设备的数字孪生监控系统

本发明涉及新材料智能制造技术领域，尤其涉及一种用于MPCVD设备的数字孪生监控系统，包括光谱处理模块、状态反演模块、模型校准模块和闭环控制模块。本发明利用发射光谱及碰撞辐射模型逆向映射，实时非侵入式获取电子温度、电子密度及CH自由基浓度；基于衬底表面多位置观测值与仿真值的空间分布偏差及其径向分布形态特征，识别并在线修正热交换系数、电子复合系数及粘附系数温度依赖关系；以经校准孪生模型输出的CH浓度为直接反馈量，解耦调节微波功率、腔体压力及CH/H流量比，有效解决了现有技术中因核心工艺参数无法实时测量所导致的数字孪生模型仿真失准及无法精确调控的技术问题。

❖北京清碳工程技术研究院有限公司常颖Oct 20, 2026§ 1/10 청구항C23C 16/52 (2006.01), C23C 16/511 (2006.01), G05B 19/418 (2006.01)6