이름 기준 검색 결과이며 법적 주체의 동일성을 확인한 것이 아닙니다. 동명인·조직, 별칭 및 이전 이름을 자동 통합하지 않습니다.

원래 이름 필드 전체와 정확히 일치하는 기록입니다. 여러 출원인 또는 다른 역할의 당사자가 포함될 수 있습니다. 이름 경계와 법적 주체는 미확인이며 구두점을 분리하지 않습니다.

색인된 특허 기록 1건

특허 건수는 이 사이트에 수록된 중복 없는 특허 기록 수이며 출원인의 전체 특허 수가 아닙니다. 공동 명의 문자열은 단일 기업을 뜻하지 않습니다.

검증된 수록 기간과 마지막 가져오기 시간은 현재 제공되지 않습니다. 공개일은 가져오기 날짜가 아닙니다. 캐시로 인해 새 기록의 표시가 지연될 수 있습니다.

로컬 원본 출원인 필드에 이 전체 문자열이 포함된 기록을 검색합니다. 공동 명의나 더 긴 이름이 포함될 수 있으며 정확한 주체 검색이 아닙니다.

一种应用于光刻机车间的节能型热交换装置及其控制方法

本发明属于节能型热交换装置技术领域，公开了一种应用于光刻机车间的节能型热交换装置及其控制方法，包括管式换热器单元、板式换热器单元、动力调节单元、阀组单元、管道单元，以及控制单元，所述管式换热器单元包括管程A接口、管程B接口、壳程A接口，以及壳程B接口，所述板式换热器单元包括热侧入口、热侧出口、冷测入口，以及冷测出口；本发明可在光刻机热侧循环水60℃‑120℃的宽温度波动范围内稳定运行，通过“串联梯级、并联分流、单独运行”三种模式的智能切换，解决传统系统仅能在固定水温下实现高效换热、水温偏离后即出现回收效率骤降或设备过载的缺陷，其中管式换热器适配中高温余热高效回收，显著提升光刻机余热利用率。

❖济南市市政工程设计研究院（集团）有限责任公司江鹏; 陈智刚; 曹东辉; 孔亚运; 刘冉冉; 杨政; 尹梓壮§ 2/10 청구항G03F 7/20 (2006.01), F28D 7/00 (2006.01), F28D 9/00 (2006.01) +114

전체 도구

원래 이름 기록: 济南市市政工程设计研究院（集团）有限责任公司

一种应用于光刻机车间的节能型热交换装置及其控制方法