一种应用于光刻机车间的节能型热交换装置及其控制方法

本发明属于节能型热交换装置技术领域，公开了一种应用于光刻机车间的节能型热交换装置及其控制方法，包括管式换热器单元、板式换热器单元、动力调节单元、阀组单元、管道单元，以及控制单元，所述管式换热器单元包括管程A接口、管程B接口、壳程A接口，以及壳程B接口，所述板式换热器单元包括热侧入口、热侧出口、冷测入口，以及冷测出口；本发明可在光刻机热侧循环水60℃‑120℃的宽温度波动范围内稳定运行，通过“串联梯级、并联分流、单独运行”三种模式的智能切换，解决传统系统仅能在固定水温下实现高效换热、水温偏离后即出现回收效率骤降或设备过载的缺陷，其中管式换热器适配中高温余热高效回收，显著提升光刻机余热利用率。