武汉光钜微电子有限公司

本公开实施例提供一种光罩套组、半导体制造方法、谐振器、滤波器和设备，光罩套组包括至少一个主光罩和至少一个复用光罩；每一主光罩均包括至少一个图形组，且至少一个主光罩中的图形组数量大于等于2；复用光罩包括透光区和非透光区；对于任一主光罩中的任一图形组，均存在一复用光罩中的透光区或非透光区覆盖图形组且不覆盖所属主光罩中的其他图形组，能够减少光罩数量，降低成本。

本公开实施例提供一种光罩套组、半导体制造方法、谐振器、滤波器和设备，光罩套组包括至少一个主光罩和至少一个复用光罩；每一主光罩均包括至少一图形组，且至少一个主光罩中的图形组数量大于等于2；复用光罩包括透光区和非透光区，复用光罩自身或经组合后形成选定区域；对于每一主光罩中的任一图形组，均存在一选定区域覆盖图形组且不覆盖所属主光罩中的其他图形组；选定区域是指：所有或部分复用光罩中的透光区之间的重叠部分；或，所有或部分复用光罩中的非透光区之间的重叠部分；或，一部分的复用光罩中的透光区和另一部分的复用光罩中的非透光区之间的重叠部分，能够减少光罩数量，降低成本。