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光罩套组、半导体制造方法、谐振器、滤波器和设备
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
G03F 1/00 (2012.01)G03F 1/62 (2012.01)G03F 1/80 (2012.01)G03F 7/00 (2006.01)G03F 7/16 (2006.01)G03F 7/20 (2006.01)G02F 1/01 (2006.01)G02B 5/20 (2006.01)G02B 5/28 (2006.01)
本公开实施例提供一种光罩套组、半导体制造方法、谐振器、滤波器和设备，光罩套组包括至少一个主光罩和至少一个复用光罩；每一主光罩均包括至少一个图形组，且至少一个主光罩中的图形组数量大于等于2；复用光罩包括透光区和非透光区；对于任一主光罩中的任一图形组，均存在一复用光罩中的透光区或非透光区覆盖图形组且不覆盖所属主光罩中的其他图形组，能够减少光罩数量，降低成本。