원래 이름 기록: 中国科学院光电技术研究所

本发明公开了一种高度可调紧固装置，该装置可实现紧固过程中对被连接件进行高度调节，属于精密机械及光学仪器等相关技术领域。该装置在连接件和被连接件之间设置一组螺旋垫片，一组螺旋垫片分为上旋片和下旋片，在被连接件螺纹通孔内设置高度调节套筒，紧固螺钉穿过高度调节套筒可实现连接件与被连接件的紧固，通过旋转高度调节套筒带动上旋片相对下旋片旋转，利用垫片螺旋面的传动特性实现对被连接件的高度调节，高度调节到位后再拧紧螺钉进行紧固。本发明原理简单可靠，结构紧凑，可兼顾被连接件高度调节和紧固。

本公开提供了一种离轴照明系统数值孔径调整装置，可应用于照明机械结构技术领域。该装置包括：离轴镜组，固定安装于镜筒Z向驱动系统的Z向运动输出端；镜筒Z向驱动系统，被配置为驱动m个离轴镜组沿轴向运动；四边位移角度驱动系统，包括环板和m个反射镜调整单元；反射镜调整单元包括反射镜组Z向驱动模块和反射镜组角度驱动模块；反射镜组角度驱动模块的输出端设置有反射镜组；反射镜组Z向驱动模块驱动反射镜组沿轴向运动，反射镜组角度驱动模块驱动反射镜组绕平行于环板圆周转动，通过调整反射镜组的空间位置和角度，实现数值孔径的调整；m为大于等于2的整数。

本发明公开了一种面向智能移动平台的深度学习多源融合位置预测方法，属于组合导航技术领域。所述方法通过融合多源异构数据，利用深度学习网络实现高精度位置预测。首先，通过输入编码器对多源数据进行语义对齐和格式统一；其次，采用位置编码器添加序列索引标识，增强时序信息；然后，利用Transformer编码器提取数据特征，捕捉动态非线性关系；最后，通过双分支预测器输出位置结果，并结合误差反馈优化网络参数。本发明解决了传统算法在复杂环境下精度下降的问题，具有鲁棒性强、非线性处理能力优、特征提取能力高及预测精度高等特点，为智能移动平台提供了可靠的自主导航技术支撑。

本发明公开了一种基于FPGA双曝光多尺度融合生成高动态范围图像的方法和装置，属于图像处理技术领域，该方法包括：获取双曝光LDRI，进而获取输入图像数据流；基于输入图像数据流计算图像的对比度、饱和度及曝光良好度，并将对比度、饱和度及曝光良好度构成的权重值进行归一化处理，得到归一化权重图；完成对归一化权重图的高斯金字塔的构建；对获取的输入图像数据流完成拉普拉斯金字塔的构建；将完成高斯金字塔构建的输出图像的每一层及同分辨率的完成拉普拉斯金字塔构建的输出图像的每一层进行同尺度的融合，对融合后的金字塔进行高斯模糊和上采样的重构，将图像还原到初始的分辨率。本发明提高了图像的融合效率及整个系统的运行速度。

本申请涉及目标分类识别技术领域，提供了一种基于统计学的点云形态分类方法和分类装置。该方法通过自目标图像中获取目标点云向量，对目标点云向量的协方差矩阵进行特征值分解得到第一特征值、第二特征值和第一特征向量、第二特征向量，将目标点云向量投影至第一特征向量和第二特征向量方向后得到投影后的点云向量，确定投影后的点云向量的统计学参数，构建目标点云特征数据集并使用其训练SVM模型，该目标点云特征数据集中的每一点云特征数据均包括采用上述方法确定的统计学参数，最后使用训练后的SVM模型对待分类图像中的待分类点云进行分类识别，实现了高效、准确地对待分类点云进行分类识别，并且具有较强的空间变换鲁棒性。

本发明公开了一种非球面镜中高频误差共形平滑抛光盘及抛光方法，属于光学制造技术领域。所述抛光盘采用三明治夹层结构，包括铜制刚性基底层、柔性橡胶层和平滑抛光沥青层。铜基底层位于最底层，提供结构支撑，其外形为扇形，张角为30‑45度，底面为与被加工非球面共形的曲面；柔性橡胶层位于中间，赋予抛光层长周期弹性变形能力；抛光沥青层位于最外侧，其抛光面与非球面镜曲面一致，确保良好贴合。抛光时，抛光盘沿非球面母线方向做直线往复振动，非球面镜绕自身轴匀速转动，通过两者相对运动实现材料去除。该结构兼具对低频面形的适应性和对中高频误差的刚性抑制能力，有效平滑中频误差，提升面形质量。

本公开提供了一种自动真空蒸发镀膜系统，该自动真空蒸发镀膜系统包括：主腔体和副腔体，分别能够独立维持在真空环境下；蒸发装置，位于主腔体中，用于将膜料蒸发并沉积到基片上；自动真空供料装置，位于主腔体中，用于在真空条件下为所述蒸发装置持续可控地提供所述膜料；自动上下基片装置，位于所述副腔体中，用于向所述主腔体持续多次提供所述基片；在持续多次提供所述基片的过程中，所述主腔体维持所述真空环境。本公开的自动真空蒸发镀膜系统能够在真空环境下，按照预设的数量和速度为蒸发装置供应膜料和基片，从而确保蒸发镀膜工艺的稳定性和连续性。该系统在不破坏主腔体真空环境的条件下，即可实现长时间的蒸发镀膜以及多批次的镀膜操作。

本发明提供一种零膨胀系数柔性支撑结构，该柔性支撑结构在保持自身结构柔性的同时还可实现零温度膨胀的特性，属于精密机械及光学仪器等相关技术领域。该支撑结构在柔性结构末端和支撑面之间连接一段高膨胀系数材料结构和一段低膨胀系数材料结构，并将该段高膨胀系数材料结构与柔性结构反向布局，通过该段高膨胀系数材料结构抵消柔性结构的温度变形，以此实现结构零温度变形特性。本发明原理简单可靠，结构紧凑，可同时实现结构柔性和零温度变形的特性。

本发明涉及一种使用碳纤维与聚酰亚胺薄膜复合的超弹超韧机械快门叶片，属于大型光学望远镜的机械快门技术领域。本发明在单层碳纤维布上粘贴聚酰亚胺薄膜材料，或者使用两层碳纤维布将聚酰亚胺薄膜夹在中间，形成三明治结构形式。碳纤维布的纤维走向与叶片边缘直线为45°交错布置。采用树脂基体与碳纤维布、聚酰亚胺薄膜通过高温热压成形方式进行固结，制成具有超强弹性的快门叶片前端。由于聚酰亚胺薄膜材料的加入，使得碳纤维机械叶片前端碳纤维布具备了抗撕裂的特性，更具韧性，在大尺寸平面620mm×50mm的叶片前端折弯近90°超强弹性下仍不会出现断裂或损坏。

本公开提供了一种离轴照明光刻掩模及其制备方法、光刻系统，可应用于微纳加工与先进光刻技术领域，该光刻掩模包括：掩模基底，包括相对设置的第一表面和第二表面；光刻掩模图形结构，位于掩模基底的第二表面；入光部，位于掩模基底的第一表面，入光部包括多个周期性排列的入光单元；其中，入光单元在垂直于第一表面的方向上具有V型结构，V型结构从第一表面向第二表面逐渐内缩，每个V型结构包括两个相互连接的斜坡面；入光部还包括带通滤波膜，带通滤波膜至少覆盖于V型结构的两个斜坡面上。

本公开提供了一种相移掩模及其制备方法，属于掩模制备技术领域。相移掩模包括：掩模基底，包括第一表面；相移结构，嵌设于掩模基底内；其中，相移结构的暴露表面与掩模基底的第一表面共面；以及掩模图形，覆盖相移结构的暴露表面的预设区域以及掩模基底的第一表面的预设区域。本公开通过将相移结构嵌设于掩模基底内部，并使其暴露表面与掩模基底的第一表面共面，从根本上改变了传统相移掩模的层叠结构，有效避免了掩模膜层对相移材料刻蚀过程的物理阻挡，使得相移结构的形状、尺寸及布局不再受限于掩模图形的开口范围，可依据光学成像需求进行自由优化设计，显著提升了成像分辨率。

本发明涉及超分辨成像技术领域，特别涉及一种高效浸没式超分辨光刻方法及光刻晶圆。制备方法包括如下步骤：在裸晶圆或结构晶圆上依次制备第一金属层、感光膜层和第二金属层，形成待曝光晶圆；在所述待曝光晶圆表面进行整片浸没液喷涂，利用掩模版对整片浸没液喷涂后的所述待曝光晶圆进行浸没式逐场曝光处理，待全部待曝光区域曝光结束后，清洗去除浸没液；去除所述第二金属层，显影获得具有图形的光刻晶圆。本发明通过将现有技术的逐场滴液、逐场曝光的方式改进成整片滴液、逐场曝光的方式，将原有的所有曝光场光刻时间从60‑120分钟缩短到5‑10分钟。在不改变光刻图形的分辨率的前提下，极大地缩短了光刻晶圆制备时间。

本申请提供一种离子源束流分布的修正挡板设计方法及其修正挡板，该方法包括：获取目标离子源对应的实测束流分布；其中，实测束流分布通过目标离子源对目标样品进行轰击后测量获得；获取目标离子源对应的目标束流分布；根据实测束流分布以及目标束流分布，确定离子源对应的修正挡板曲线；根据修正挡板曲线，计算组成修正挡板的每个挡板条的挡板宽度以及挡板长度；根据每个挡板条的挡板宽度、挡板长度以及修正挡板曲线，获得目标离子源对应的修正挡板。

本公开提供一种扫描电镜图像边缘检测方法，包括：对扫描电镜图像进行各向异性扩散滤波，以抑制噪声并保留边缘，得到滤波图像；计算滤波图像的原始尺度梯度和下采样尺度梯度，基于多个自适应权重对原始尺度梯度和下采样尺度梯度中的多个像素区域分别进行融合，得到梯度图，自适应权重基于滤波图像纹理的复杂度确定，每个像素区域对应一个自适应权重；从梯度图中提取多维特征，将多维特征输入机器学习模型进行阈值预测，并基于预测的阈值生成连续像素级阈值图，连续像素级阈值图包含的梯度阈值为区分梯度图中不同类别像素的临界值；将梯度图与连续像素级阈值图进行对比，得到目标边缘像素，并基于目标边缘像素生成边缘检测结果图。

本公开提供一种匀光照明系统，包括：旋转对称自由曲面透镜，用于将光源各个方向发散的非均匀光束经折射和反射后重新定向和分布，得到均匀光束；光棒，用于对均匀光束进行多次全反射以进行匀化处理，形成均匀的照明光场。

本申请提供了一种扫描器、扫描系统及扫描方法，其中，该扫描器包括：多个液晶偏振光栅以及多个调整平台；液晶偏振光栅大于等于多个；多个液晶偏振光栅沿光源传输方向依次设置，且多个液晶偏振光栅的中心点在同一直线上；每个液晶偏振光栅与一个调整平台对应设置；调整平台配置为调整相应的液晶偏振光栅的转速和转向；扫描器配置为通过调整多个液晶偏振光栅的转速和/或转向，切换扫描模式。本申请通过设置扫描器中包括三个及以上的液晶偏振光栅，可以获得更大的视场，具有大视场扫描和三维成像的潜力。且通过调整多个液晶偏振光栅的方向，实现不同形状的视场覆盖，可以得到更加符合实际应用的视场覆盖范围，提高视场覆盖范围的灵活性。

本公开提供了一种掩模版表面缺陷的修复方法，包括：在掩模版的正面涂覆感光材料，形成感光层；基于掩模版的版图，从掩模版的背面照射掩模版，使光线穿过掩模版掩蔽层缺陷所在区域，对掩蔽层缺陷所在区域的感光材料进行曝光；对感光层进行显影，去除掩模版的缺陷所在区域中的感光材料；在掩模版的正面沉积掩蔽材料，掩蔽材料填充掩模版的掩蔽层缺陷所在区域；去除感光层后进行清洗，得到掩蔽层缺陷修复后的掩模版。该方法可以将掩模版表面掩蔽层缺陷修复，减少掩模版的缺陷，提高掩模版的使用寿命，提高掩模版修复效率。

本发明提供一种面内位置可调紧固装置，该装置可实现紧固过程中对被连接件进行面内位置调节，属于精密机械及光学仪器等相关技术领域。为实现该装置功能，首先在被连接件的螺纹通孔处加工腰型孔，在腰型孔内设置偏心垫片，紧固螺钉可穿过偏心垫片和被连接件实现与连接件紧固，并在紧固螺钉与偏心垫片之间设置调节套筒，通过旋转调节套筒带动偏心垫片旋转实现被连接件面内一个方向的位移调整，搭配垂直方向的紧固装置即可实现被连接件面内两个方向的调整，位置调整到位后拧紧螺钉，即完成调整与紧固过程。本发明原理简单可靠，结构紧凑，可兼顾被连接件面内位置调节和紧固。

本发明公开了一种可在水上调节水下摄像机位置的新型池壁挂架，所述池壁挂架包含挂架主体、夹紧机构、摄像机位置调节机构、线缆导向机构等。所述摄像机位置调节机构又包括导轨滑块、滑块挡块、摄像机支撑板、长杆定位销、前后位置调节螺母、摄像机锁紧螺母等。池壁挂架通过夹紧机构安装于燃料厂房传输水池上方，池壁挂架上设置了四个安装接口，可用于燃料组件四面外观检查摄像机的安装，线缆导向机构用于燃料组件四面外观检查摄像机水下线缆的导向。燃料厂房传输池满水后，可以通过摄像机位置调节机构对水下摄像机的安装位置进行调节，保证水下摄像机处于最佳姿态。

本公开提供了一种离轴照明光机装置，可应用于光学测量技术领域。该装置包括：固定圆盘；m套离轴照明光路，安装于固定圆盘上，每套离轴照明光路包括沿光路依次设置的：照明光源单元，用于提供输入光束；匀光耦合单元，用于对输入光束进行匀化处理；视场调节单元，用于限定照明区域的形状和大小；离轴照明角度调节单元，包括第一反射镜，通过调节第一反射镜的俯仰角度来改变光路出射方向；还包括：成像检测单元，用于获取被m套离轴照明光路的照明光场共同覆盖的目标区域的图像信息；以及控制单元，用于基于图像信息生成控制指令，以协同驱动离轴照明角度调节单元，将m套离轴照明光路的入射角度同步调节至目标值；其中，m为大于等于2的整数。