中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））

本发明公开了一种适用于疲劳加速试验的MEMS结构及其疲劳加速试验方法，MEMS结构为硅基上下电容式结构，包含可动梳齿组件与固定梳齿组件，静电加力极板采用错位排布，分为部分错位、全部错位两种形式；部分错位结构保留梳齿交叠区域提供基础静电力，错位段依靠电场边缘效应补充驱动力，同时释放悬臂梁形变空间，解决传统正对梳齿结构静电驱动力与形变行程相互制约的技术难题。本发明配套电激励疲劳加速试验方法，可自由调控加载频率与应力幅值，兼容温湿度、振动多场耦合环境，能够实现大应变、高频率循环疲劳加载，精准采集MEMS结构疲劳寿命数据并构建疲劳失效模型。

本发明公开了一种MEMS结构原位疲劳拉伸试验方法，属于微机电系统可靠性测试技术领域。该方法针对MEMS结构（如单晶硅）在疲劳试验中面临的夹持困难及微小位移下易脆断的技术难题，提出了一种基于载体转移的创新方案。其核心步骤包括：设计并加工包含特定机械结构（如“几字梁”）的MEMS样品；将样品固定于金属平板载体上，利用宏观试验机进行夹持与加载；在施加载荷的同时，利用扫描电子显微镜实时观测微观损伤演化。本发明有效解决了微观样品的夹持与位移控制难题，能够动态捕捉裂纹萌生与扩展过程，为MEMS器件的可靠性设计提供了关键技术支撑。

本申请涉及一种元器件可靠性评估方法、装置、设备、存储介质和程序产品。所述方法包括：确定历史批次下多个元器件的历史指标的历史统计学指标，并按照各历史批次的批次顺序，将所有历史批次下历史指标的历史统计学指标构成历史统计学指标序列，获取待预测批次下多个待预测元器件的量化指标，并确定待预测批次下多个待预测元器件的量化指标的统计学指标，按照批次顺序，基于统计学指标得到当前统计学指标序列，基于当前统计学指标序列和历史故障指标对应的历史统计学指标序列，通过预测模型得到待预测批次对应的故障率，根据故障率和预设故障率，确定待预测批次下的元器件可靠性评估结果。从而实现预测待预测批次下的元器件的可靠性。

本申请涉及一种质量技术文档的检测方法、装置、设备、介质和程序产品。所述方法包括：获取质量技术文档；利用预先设置的规则约束模板对所述质量技术文档进行图文一致性检测，得到第一检测结果；利用预先训练的多模态大模型对所述质量技术文档进行图文一致性检测，得到第二检测结果；对所述第一检测结果和所述第二检测结果进行融合处理，得到目标检测结果；其中，所述第一检测结果、所述第二检测结果和所述目标检测结果均用于表征所述质量技术文档中的图文是否一致。采用本申请能够降低图文检测对人工制定规则的依赖，克服纯大模型方法输出不稳定、不可追溯的缺陷，为质量技术文档的智能审核提供了高可信、可解释的技术路径。

本发明公开了一种多主晶相的图形化陶瓷膜带及其制备方法，属于陶瓷材料技术领域。该陶瓷膜带在同一平面内包含至少两种不同主晶相的材料区域，所述材料区域呈预设的图形化阵列分布，且不同主晶相的材料区域之间通过共烧形成无缝结合。其制备方法包括：分别制备不同主晶相的流延浆料，经第一次流延成型后，通过定制模板进行图形化处理，再填充其他主晶相流延浆料进行第二次流延，经排胶、烧结获得成品。该方法实现了面内多主晶相陶瓷的异质集成共烧。本发明可用于集成电路的局域化点对点制冷器件，也可用于多功能陶瓷器件的制造。

本申请涉及一种可靠性风险确定方法、装置、设备、存储介质和程序产品。所述方法包括：获取集成芯片中的目标评估结构对应的第一失效时长，第一失效时长是对目标评估结构在目标环境应力条件下进行加速寿命试验确定的；获取目标评估结构对应的失效物理模型，失效物理模型用于描述目标评估结构的失效时长与环境应力条件的对应关系；将目标环境应力条件输入失效物理模型中，确定目标评估结构对应的第二失效时长；根据第一失效时长与第二失效时长之间的误差确定目标评估结构的可靠性风险确定结果。采用本方法能够准确确定集成电路芯片可靠性风险。