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색인된 특허 기록 1건

특허 건수는 이 사이트에 수록된 중복 없는 특허 기록 수이며 출원인의 전체 특허 수가 아닙니다. 공동 명의 문자열은 단일 기업을 뜻하지 않습니다.

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一种ASIC-MEMS微镜集成装置及制备方法

本发明公开了一种ASIC‑MEMS微镜集成装置及其制备方法，用于提升产品性能。本发明通过采用先键合ASIC驱动控制芯片与MEMS微镜实心硅片，再制备定梳齿结构层，最后释放可动结构层的方法，直接实现了MEMS微镜与ASIC驱动控制芯片焊盘直接键合互联，实现高压直驱，同时，将键合压力作用于刚性实心硅片，彻底解决了传统方案中键合压坏可动微梁的问题，彻底摒弃TSV转接层带来的弊端，大幅提升了产品良率和产品性能。

❖北京云芯微系统科技有限公司赵井宇; 张元特; 杨帅Oct 20, 2026§ 1/10 청구항B81C 1/00 (2006.01), B81C 3/00 (2006.01), B81B 7/00 (2006.01) +37