一种ASIC-MEMS微镜集成装置及制备方法

本发明公开了一种ASIC‑MEMS微镜集成装置及其制备方法，用于提升产品性能。本发明通过采用先键合ASIC驱动控制芯片与MEMS微镜实心硅片，再制备定梳齿结构层，最后释放可动结构层的方法，直接实现了MEMS微镜与ASIC驱动控制芯片焊盘直接键合互联，实现高压直驱，同时，将键合压力作用于刚性实心硅片，彻底解决了传统方案中键合压坏可动微梁的问题，彻底摒弃TSV转接层带来的弊端，大幅提升了产品良率和产品性能。