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색인된 특허 기록 1건

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一种用于AR/VR衍射光波导晶圆级自动检测设备及方法

本发明公开一种用于AR/VR衍射光波导晶圆级自动检测设备及方法，设备包括大理石基座、晶圆承载单元、色度计六轴模组、光机六轴模组和工控系统；晶圆承载单元设置于大理石基座上，用于对接AR/VR衍射光波导晶圆；色度计六轴模组和光机六轴模组分置于大理石基座两侧，用于检测AR/VR衍射光波导晶圆上光波导的光学数据；工控系统分别与色度计六轴模组、光机六轴模组通信连接，用于控制色度计六轴模组、光机六轴模组执行对应检测动作。本发明实现AR/VR衍射光波导晶圆检测前的全自动校准与位置标定。

❖南京微桥检测技术有限公司郑伯健; 李景明Oct 16, 2026§ 2/9 청구항G01M 11/02 (2006.01)39