一种用于AR/VR衍射光波导晶圆级自动检测设备及方法

本发明公开一种用于AR/VR衍射光波导晶圆级自动检测设备及方法，设备包括大理石基座、晶圆承载单元、色度计六轴模组、光机六轴模组和工控系统；晶圆承载单元设置于大理石基座上，用于对接AR/VR衍射光波导晶圆；色度计六轴模组和光机六轴模组分置于大理石基座两侧，用于检测AR/VR衍射光波导晶圆上光波导的光学数据；工控系统分别与色度计六轴模组、光机六轴模组通信连接，用于控制色度计六轴模组、光机六轴模组执行对应检测动作。本发明实现AR/VR衍射光波导晶圆检测前的全自动校准与位置标定。