一种多晶金刚石膜的抛光方法

本发明涉及一种多晶金刚石膜的抛光方法，属于金刚石加工技术领域。本发明的多晶金刚石膜的抛光方法，包括以下步骤：（1）粗磨：将待加工的多晶金刚石样品采用铸铁研磨盘搭配10‑20µm水性金刚石研磨液进行加工；（2）精磨：将粗磨后的多晶金刚石样品采用铸铁研磨盘搭配3‑6µm水性金刚石研磨液进行加工；（3）粗抛：将精磨后的多晶金刚石样品采用紫铜抛光盘搭配0.5‑1µm水性金刚石抛光液进行抛光加工；（4）精抛：将粗抛后的多晶金刚石样品采用紫铜抛光盘搭配50‑80nm水性金刚石抛光液进行抛光加工。本发明采用的无腐蚀性金刚石抛光液，能有效减少对抛光设备的损害，降低设备的维护成本和更换频率，延长设备的使用寿命，降低了设备投入成本，更易于实现工业化应用。