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기록
一种蒸镀设备的快速维护系统
발명유효
48조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
靳诺; 吴子敬; 肖剑; 陈峰; 安润泽
IPC 분류
C23C 14/24 (2006.01)C23C 14/56 (2006.01)
本申请涉及镀膜的技术领域,公开了一种蒸镀设备的快速维护系统,其包括蒸发区组件,包括安装座、电极柱以及水冷容器;所述电极柱与所述水冷容器均安装于所述安装座上,所述水冷容器围合所述电极柱,且所述水冷容器沿竖向开设有对所述电极柱进行避让的让位孔;移动搬运装置,包括底座、支架以及伸缩架;所述支架通过转动调节机构转动于所述底座上,所述伸缩架通过竖向调节机构沿竖向移动于所述支架上,所述伸缩架自身延伸长度能够沿横向调节,且所述伸缩架用于吊装所述水冷容器。本申请能够提高水冷容器的维护效率。