一种用于弓形零件的弹性压紧排列电抛治具及其工作方法

本发明涉及半导体设备零部件表面处理技术领域，具体涉及一种用于弓形零件的弹性压紧排列电抛治具及其工作方法。将弓形零件放置于挂杆上，通过弹性压紧架进行柔性压紧，利用限位块固定其位置；旋转旋钮调节弹性压紧架的压紧力至合适程度；铜勾连接外部电抛电源后，电流经铜勾、钛杆、挂杆传导至弓形零件，形成完整电抛回路，从而对弓形零件进行电解抛光，使其表面粗糙度满足使用要求。本发明克服现有技术中半导体设备弯曲状弓形零件电抛作业困难的缺陷，提供一种弹性压紧排列电抛治具，实现对弓形零件的柔性压紧、稳定导电和有序排列，从而完成高效均匀的电解抛光。