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기록

一种单晶炉异形加热器

발명유효
36조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

杨平; 黄鸣; 申震; 尹燕刚; 刘志文

IPC 분류

C30B 15/18 (2006.01)C30B 29/06 (2006.01)

本申请涉及一种单晶炉异形加热器,涉及单晶硅制备设备的技术领域,加热器包括加热环以及连接腿,加热环轴向沿竖直方向设置,连接腿长度方向沿水平方向设置,并且连接腿一端与加热环固定连接且电连接。本申请通过将连接腿设计为水平设置,使得连接腿产生的热量主要沿水平方向辐射,这就能够降低连接腿对坩埚的额外加热,使得坩埚的热量主要来源于加热环,这就使得坩埚上加热区域主要集中在加热环对应区域内,从而能够降低坩埚的局部过热和高温分解,从而减少了坩埚向硅熔体中的析氧量,进而有效降低制备的单晶硅的含氧量,提升单晶硅的晶体品质。

§ Ⅵ

특허 도면

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