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기록

结晶控制设备、结晶控制方法、装置、控制设备及介质

발명유효
16조회수
10청구항 · 6 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

赵亮

IPC 분류

C30B 15/20 (2006.01)

本发明提供了一种结晶控制设备、结晶控制方法、装置、控制设备及介质,属于半导体生产技术领域。该结晶控制设备包括:自动温度控制ATC系统,还包括:测距单元,用于测量目标点到晶棒表面的距离数据,所述目标点为所述测距单元所在位置,所述晶棒位于所述拉晶炉内;控制单元,分别与所述测距单元和所述ATC系统连接,所述控制单元用于获取所述距离数据,并通过分析所述距离数据指示所述ATC系统调节所述拉晶炉内的温度。本发明的技术方案能够及时、准确地预测结晶风险,从而避免晶棒断裂和原材料浪费的问题。

§ Ⅵ

특허 도면

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