검색으로 돌아가기
기록

增强石英销倒影分辨率的方法、石英销以及直拉法单晶生长系统

발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

石绪忠; 李炜

IPC 분류

C30B 29/18 (2006.01)C30B 15/20 (2006.01)

本发明提供一种增强石英销倒影分辨率的方法、石英销以及直拉法单晶生长系统,使用紫外激光器对石英销的目标区域进行表面粗糙化处理,以增加所述目标区域在高温环境下的辐射亮度,从而当直拉法单晶生长系统采用该石英销进行液距测量,该石英销在硅熔液中的倒影分辨率得以增强,从而可以降低相机捕捉石英销倒影的难度,使得对于液距控制的精确性得以提高。另外,相较于其它粗糙化处理方法,利用紫外激光的高光子能量可以直接打开石英材料的化学键,同时通过控制工艺参数,使得在脆性石英玻璃表面实现可控的、无损伤的粗糙化。

로그인하고 전문 읽기

청구항 1을 표시했습니다. 무료 가입하면 전체 10개 청구항, 명세서 전문, 전체 도면, 번역, 법적 상태를 볼 수 있습니다.

  • 전체 청구항
  • 기술 분야
  • 배경 기술
  • 발명의 내용
  • 도면 설명
  • 발명의 실시 형태