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一种半导体晶圆的划片装置

발명유효
1조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

张俊; 李凤丽; 张光明

IPC 분류

B28D 5/02 (2006.01)B28D 7/00 (2006.01)B28D 7/02 (2006.01)H10P 54/40 (2026.01)H10P 58/00 (2026.01)

本发明公布了一种半导体晶圆的划片装置,包括机壳,所述机壳的顶部左右两侧连接有侧支座,所述机壳的顶部中段连接有液压推杆,所述液压推杆的后侧自由端连接有联动块,所述联动块的顶部连接有平移座,所述平移座的顶部转动连接有转向轴,所述转向轴的顶部连接有加工台,两个所述侧支座的横部之间连接有导向组件,所述导向组件中滑动连接有横移座,所述横移座的底部连接有固定架,所述固定架内安装有划片组件,所述机壳的前端连接有PLC控制器;本发明结构设计合理,本装置不仅能满足半导体晶圆划片的高精度要求,还能通过连续化、自动化操作提升生产效率,同时兼顾工作环境的整洁,为半导体晶圆加工领域提供了一种高效、可靠的解决方案。