一种非制冷红外探测器功能层及其制备方法

本发明属于功能材料制备技术领域，具体涉及一种非制冷红外探测器功能层及其制备方法。本发明的功能层从下至上依次包括第一介质层、第二介质层、热敏电阻层、第一保护层和第二保护层；第一、第二介质层、第一和第二保护层均为氮化硅，热敏电阻层为氧化钒；第一介质层采用等离子增强化学气相沉积法形成，厚度为0~1000Å；第二介质层采用物理气相沉积法形成，厚度为400~1400Å；热敏电阻层采用物理气相沉积法形成，厚度为600~1000Å；第一保护层采用物理气相沉积法形成，厚度为400~1400Å；第二保护层采用等离子增强化学气相沉积法形成，厚度为0~1000Å。本发明的非制冷红外探测器功能层具有较高的TCR性能。