一种透射式光学相控阵光束扫描芯片及组合

本发明公开一种透射式光学相控阵光束扫描芯片及组合，所述芯片包括：透明衬底、介质包裹层、透明电极、电可调填充材料、金属电极和顶部封顶介质层。介质包裹层、透明电极和电可调填充材料共同构成动态光栅结构，透明电极和金属电极用于对电可调填充材料施加电场，以改变其折射率，从而调节入射光在各纳米天线单元中的相位延迟量并实现光束扫描输出。纳米天线单元的深宽比大于10，且光栅周期小于工作光波的波长，以保证获得足够的相位调制范围。本发明能够实现对入射光的高速相位调制，具有低插入损耗和高响应速度，克服了传统机械扫描和液晶相控阵响应慢、损耗大的缺点，适用于激光雷达、光通信、微投影等需要快速光束扫描的应用场景。