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一种预防半导体功率器件分层的封装方法

발명유효
4조회수
8청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

陈宏明; 孙杰; 王会平; 何佳伦; 李嫒嫒; 陈军彦; 马倩

IPC 분류

H10W 70/04 (2026.01)C25D 5/00 (2006.01)

本发明提供一种预防半导体功率器件分层的封装方法,涉及半导体器件封装技术领域,包括对镀银或镀镍引线框架进行清洁处理形成洁净导电表面,对洁净导电表面进行上芯处理和压焊处理形成芯片互连结构;对芯片互连结构进行电沉积处理形成树枝状纳米结构层,对树枝状纳米结构层进行压塑处理形成封装结构,对封装结构进行电镀处理和切割成型处理形成封装成品。该预防半导体功率器件分层的封装方法,通过在镀银或镀镍引线框架表面形成树枝状纳米结构层,并利用压塑处理将树枝状纳米结构层与塑封料结合,增强了封装结构的界面结合强度,避免了传统封装中因热膨胀不匹配导致的分层现象。该方法提高了封装界面的机械稳定性,还提升了功率器件的可靠性。