多温度反应器系统和方法

公开了用于快速调节衬底温度的反应器系统和方法。示例性反应器系统可以包括联接到反应器的反应室的一个或多个温度调节气体源。另外或可替代地，示例性反应器系统可包括升降销组件，其可以在处理期间移动衬底远离基座表面。