一种集成式超声传感器及其制备方法、性能测试方法

本发明涉及一种集成式超声传感器及其制备方法、性能测试方法，所述集成式超声传感器包括：金属晶格框架，用于为内部结构提供机械支撑和结构保护；超声激励器，用于响应于施加的激励信号，产生超声波信号；超声接收器，用于接收超声响应信号；绝缘隔离层，用于实现金属晶格框架、超声激励器、超声接收器之间的电气隔离；复合封装材料，填充于金属晶格框架内部，用于将超声激励器与超声接收器封装固化为一体。本发明提供的技术方案中，以金属晶格框架作为传感器的骨架结构，为传感器内部结构（如超声激励器和超声接收器）提供的良好的机械支撑和结构保护，增强了传感器的抗冲击能力。