一种多模态闭环自适应源测量单元架构及其控制方法

本发明公开了一种多模态闭环自适应源测量单元架构及其控制方法，属于电子测试测量与半导体器件表征技术领域。本发明用于半导体器件I‑V特性表征与光电器件性能测试。该架构包括主功率源测环路、辅助噪声温漂补偿环路、平滑自适应量程切换单元、负载自适应闭环控制单元及高速同步与多场景管控单元。主功率源测环路实现四象限功率输出与同步测量；辅助噪声温漂补偿环路采集噪声与温度并生成反向补偿信号；平滑自适应量程切换单元实现分阶段软切换；负载自适应闭环控制单元依据负载类型匹配PID参数；高速同步与多场景管控单元统一管控时序同步。本发明实现了fA级电流、μV级电压的高稳定测量，解决了量程切换震荡与动态负载失稳问题。