一种物镜焦面校正方法、装置、电子设备及介质

本申请提供了一种物镜焦面校正方法、装置、电子设备及介质，其中，该方法包括：获取物镜焦面的基准位置与第一像面位置之间的垂向偏差；获取反映当前物镜焦面位置的第二像面位置，第二像面位置由扫描掩模版所映射的空间图像，并结合当前工件台垂向误差进行校正后获得；基于垂向偏差对第二像面位置进行补偿，以校正物镜焦面的位置。通过本申请，使得物镜焦面校正无需中断生产流程，同时校正过程融合了工件台垂向误差，在兼顾生产效率与校正精度的同时，解决了温度、压力变化导致焦面漂移而难以实时校正的问题。