北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）

本申请提供了一种晶圆面型扫描方法、装置、电子设备以及介质，其中，该方法包括：获取晶圆面型扫描的起始位置和结束位置，确定扫描距离；根据扫描距离，判断其是否满足预设的从扫描起始速度加速至最大允许扫描速度并减速回扫描起始速度的行程条件；若满足行程条件，则确定采用由加速段、匀速段和减速段构成的三段式变速扫描轨迹；若不满足行程条件，则确定采用由加速段和减速段构成的两段式变速扫描轨迹；基于所确定的轨迹段数，采用多项式轨迹规划算法，生成对应的多项式变速扫描轨迹，以控制运动台在扫描区域内进行变速扫描。通过本申请，在运动台行程受限时，缩短了晶圆面型扫描的测量时间，提高了产率。

本发明涉及压力测量技术领域，尤其是涉及一种主动气流补偿系统抵消运动压力干扰的测量装置，其包括：运动单元包括运动台和用于驱动运动台往复运动的驱动组件；围护件设置在运动单元的周向外侧，运动台能够在围护件围成的区域内运动，使得围护件的围成的空间内形成压力扰动；主动气流补偿系统设置在运动单元的上方，主动气流补偿系统能够向下输送气流，使得气流进入围护件围成的空间内并吹扫覆盖至运动台运动形成的压力扰动区域，以补偿运动台运动形成的压力扰动；压力测试单元设置在运动单元的侧方，用于检测运动台周围的压力。本发明能够极大地降低成本以及传感器运动造成的扰动误差，从而提升测量精度。

本申请涉及线缆刚度测试技术领域，特别涉及一种用于不同位姿线缆刚度的测试平台。包括运动平台，以及依次设置于运动平台的支架组件、走线工装、线匣组件、测量组件和运动组件；在支架组件的上部设置一用于夹持线缆一端的第一末端夹具；线缆经过走线工装分层布线和线匣组件逐根夹紧固定，汇总后由第二末端夹具夹紧；运动组件包括沿X向布置的第一电机和沿Y向布置的第二电机；第一电机能够带动第二电机沿X向运动，第二电机能够带动安装板沿Y向运动；测量组件的一端与安装板连接，另一端与第二末端夹具连接，并使第二末端夹具悬空。本申请可根据测试需求呈现不同的线缆位姿，并实现连续拉动线缆位移，同时兼容测量单根线缆和多根线缆刚度的测量。

本申请提供一种基于反射机制实现的服务调试方法及系统，包括通过反射机制加载并解析目标服务的接口契约，获取接口方法及其参数的类型元数据，所述类型元数据至少包括接口方法的入参类型、出参类型、字段名称、字段类型、字段注解、嵌套层级关系及集合泛型信息；基于所述类型元数据，通过反射机制动态实例化参数对象，并根据参数类型自动生成默认值，构造树形层级结构的、符合序列化规范的结构化可编辑参数模板；响应于用户对所述结构化可编辑参数模板的编辑操作，获取编辑后的结构化参数；通过反射机制将所述编辑后的结构化参数反序列化为与所述类型元数据匹配的参数实例；利用所述参数实例调用所述目标服务接口，并接收返回结果。

本申请提供了一种物镜焦面校正方法、装置、电子设备及介质，其中，该方法包括：获取物镜焦面的基准位置与第一像面位置之间的垂向偏差；获取反映当前物镜焦面位置的第二像面位置，第二像面位置由扫描掩模版所映射的空间图像，并结合当前工件台垂向误差进行校正后获得；基于垂向偏差对第二像面位置进行补偿，以校正物镜焦面的位置。通过本申请，使得物镜焦面校正无需中断生产流程，同时校正过程融合了工件台垂向误差，在兼顾生产效率与校正精度的同时，解决了温度、压力变化导致焦面漂移而难以实时校正的问题。