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主动气流补偿系统抵消运动压力干扰的测量装置

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§ Ⅰ

개요

출원인

北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)

발명자

刘霞; 秦明生; 杨泰鸿; 李娇娇

출원일

Jul 29, 2026

공개일

Oct 20, 2026

IPC 분류

G01L 1/26 (2006.01)G01L 19/00 (2006.01)F15D 1/00 (2006.01)

本发明涉及压力测量技术领域,尤其是涉及一种主动气流补偿系统抵消运动压力干扰的测量装置,其包括:运动单元包括运动台和用于驱动运动台往复运动的驱动组件;围护件设置在运动单元的周向外侧,运动台能够在围护件围成的区域内运动,使得围护件的围成的空间内形成压力扰动;主动气流补偿系统设置在运动单元的上方,主动气流补偿系统能够向下输送气流,使得气流进入围护件围成的空间内并吹扫覆盖至运动台运动形成的压力扰动区域,以补偿运动台运动形成的压力扰动;压力测试单元设置在运动单元的侧方,用于检测运动台周围的压力。本发明能够极大地降低成本以及传感器运动造成的扰动误差,从而提升测量精度。

§ Ⅵ

특허 도면

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