半导体生产线搬运过程中的弯道自适应控制方法

本发明涉及半导体制造物料搬运技术领域，提供了一种半导体生产线搬运过程中的弯道自适应控制方法，包括：获取搬运车的自身几何参数及目标弯道的轨道参数，并实时获取搬运车在弯道中的相对位置状态矢量；基于相对位置状态矢量与轨道参数，结合搬运车的实时负载状态与惯性反馈，进行弯道内侧轨道或外侧轨道的择优选择；基于选定的轨道及搬运车所处的弯道阶段，结合搬运车前后轮之间的相对姿态关系，对搬运车的前轮驱动单元和后轮驱动单元进行非对称的速度分配，以实现对搬运车运动轨迹的闭环修正。本发明实现了弯道全周期的平滑控制，有效抑制了车体晃动，降低了电机负载，提升了搬运定位精度。