一种钙钛矿电池退火用超声雾化精准均匀加湿装置及方法

本发明涉及钙钛矿电池制备技术领域，公开了一种钙钛矿电池退火用超声雾化精准均匀加湿装置及方法，装置包括退火炉体、超声雾化组件、湿度调控组件、气流均布组件及控制单元；退火炉体内部设有退火腔，超声雾化组件与退火腔连通；退火腔内设置有气流通道，气流均布组件设置在退火腔的气流通道上，湿度调控组件的检测端伸入退火腔内部，控制单元分别与超声雾化组件、湿度调控组件、退火炉体电连接。本发明通过集成超声雾化组件产生微米级均匀水雾，解决了水雾粒径过大易污染腔体及损害薄膜的问题；通过湿度调控组件伸入退火腔内部实时监测湿度，结合控制单元闭环调节水雾量，解决了湿度控制精度低、易致薄膜开裂或结晶不充分的问题。