一种微源阵列式蒸发装置及其蒸镀方法
本申请公开一种微源阵列式蒸发装置及其蒸镀方法。所述装置包括微源阵列板和温控系统,微源阵列板设有若干呈阵列分布的微蒸发单元,各微蒸发单元包括微型蒸发器和加热元件。温控系统分别调节各微蒸发单元或者各蒸发分区的加热功率。微源阵列板与待镀基板平行设置且间距不大于200mm。蒸镀时,若干个微蒸发单元产生的蒸汽在待镀基板表面叠加沉积。该方案能够减少蒸汽侧向发散,提高材料利用率、蒸发速率及薄膜沉积均匀性。
APPLICANTS
원본 출원인 이름 및 가져온 특허의 원래 이름 필드를 확인합니다.
이름 기준 검색 결과이며 법적 주체의 동일성을 확인한 것이 아닙니다. 동명인·조직, 별칭 및 이전 이름을 자동 통합하지 않습니다.
원본 XML의 개별 출원인 노드에서 추출한 이름입니다.
색인된 특허 기록 3건
특허 건수는 이 사이트에 수록된 중복 없는 특허 기록 수이며 출원인의 전체 특허 수가 아닙니다. 공동 명의 문자열은 단일 기업을 뜻하지 않습니다.
검증된 수록 기간과 마지막 가져오기 시간은 현재 제공되지 않습니다. 공개일은 가져오기 날짜가 아닙니다. 캐시로 인해 새 기록의 표시가 지연될 수 있습니다.
로컬 원본 출원인 필드에 이 전체 문자열이 포함된 기록을 검색합니다. 공동 명의나 더 긴 이름이 포함될 수 있으며 정확한 주체 검색이 아닙니다.
이 출원인 조건으로 특허 검색