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기록

再分布层的制造方法

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§ Ⅰ

개요

발명자

世古畅哉; 伊藤纪之; 铃木昭

출원일

Apr 1, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

H10W 70/05 (2026.01)H10P 76/20 (2026.01)

一种再分布层的制造方法,包括:第一曝光步骤,对支撑基板的第一主表面上的负性感光材料层以预定图案进行曝光;第二曝光步骤,从支撑基板的第二主表面侧,对负性感光材料层在其整个表面进行曝光;显影步骤,对经曝光的负性感光材料层显影,以形成第一绝缘层,该第一绝缘层在第二主表面上具有凹部图案;以及第一布线层形成步骤,在第一绝缘层的第二主表面上形成第一布线层;以及分离步骤,从支撑基板的第二主表面侧向第一绝缘层照射光,以将第一绝缘层从支撑基板分离。