收集成像模组、光学装置和半导体设备

本申请公开了收集成像模组、光学装置和半导体设备，用于解决收集成像模组在高变倍同时实现低波像差的问题。收集成像模组包括沿物像方向依次设置有固定镜组、第一变焦镜组和第二变焦镜组，固定镜组的焦距满足：40mm<<80mm；第一变焦镜组的焦距为；第二变焦镜组的焦距为，且和满足：‑1.3＜/＜‑0.605。由收集成像模组的变倍比M公式：M=k/(/)2（k是与固定镜组的焦距及初始位置有关的常数）推导得到收集成像模组的变倍比数值范围为117.5倍至530倍，收集成像模组在大变倍范围的同时，减少了波像差，提高了收集成像模组的成像质量。