MOCVD外延片生长过程的联合仿真与评估系统

本申请涉及半导体外延生长仿真技术领域，尤其涉及MOCVD外延片生长过程的联合仿真与评估系统；包括界面状态提取模块，用于在仿真执行至相邻外延层界面切换时刻时，获取前一时刻各节点的组分残存浓度；衰减常数构建模块，用于针对每个节点构建衰减时间常数；残余浓度追踪模块，用于以节点的衰减时间常数对所述组分残存浓度施以指数衰减，生成时变残余浓度，并通过融合时变残余浓度和通过流场求解所得的主供浓度构建各节点的实际前驱体总浓度。本申请具有提高外延片生长过程中仿真评估的准确性的效果。