一种晶圆凸点高度测量方法、系统及存储介质

本发明公开了一种晶圆凸点高度测量方法、系统及存储介质，方法包括：控制第一图像探测器和第二图像探测器，分别以预设的第一曝光时长和第二曝光时长，同时对晶圆上同一目标凸点的所在区域进行曝光并采集图像，对应获得第一待测图像和第二待测图像，第一曝光时长是根据目标凸点的顶部材料特性预先配置的参数，第二曝光时长是根据晶圆的表面材料特性预先配置的参数；处理第一待测图像以提取目标凸点的顶部的第一位置信息，且处理第二待测图像以提取晶圆的表面的第二位置信息；根据第一位置信息和第二位置信息计算目标凸点的高度。本发明根据材质差异分别配置曝光时长，解决因反射率差异导致的成像灰度不均问题，提高测量精度和稳定性。