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一种陶瓷基板清洗设备及清洗方法

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§ Ⅰ

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IPC Classification

B08B 3/02 (2006.01)B08B 3/08 (2006.01)B08B 3/12 (2006.01)B08B 3/10 (2006.01)B08B 3/14 (2006.01)B08B 5/02 (2006.01)B08B 13/00 (2006.01)F26B 21/00 (2026.01)F26B 21/55 (2026.01)

本发明提出了一种陶瓷基板清洗设备及清洗方法,所述的清洗设备包括清洗腔体、传输机构、多段式清洗机构、杂质收集机构、清洗剂循环机构和控制系统,多段式清洗机构包括预处理组件、主清洗组件、漂洗组件及干燥组件。本发明的清洗设备可实现陶瓷基板从预处理、主清洗、漂洗到干燥的全流程自动化作业,无需人工干预,单台清洗设备可替代多名人工,降低人工成本;同时,清洗设备采用流水化作业,清洗效率高;且全流程的精准控制喷淋压力、超声频率、清洗液温度、干燥温度等,确保陶瓷基板的清洗质量稳定。

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