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Dossier
一种用于钨材料的固结磨粒研磨垫和研磨方法
InventionActive
10Claims · 2 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
宁波江丰电子材料股份有限公司
Inventor
边逸军; 姚力军; 沈彬; 魏小林
IPC Classification
B24B 37/24 (2012.01)B24B 37/04 (2012.01)
本发明涉及一种用于钨材料的固结磨粒研磨垫和研磨方法，涉及表面加工技术领域，所述固结磨粒研磨垫包括：磨粒层；所述磨粒层以质量百分含量计包括：碳化硅颗粒35‑45%、陶瓷颗粒8‑15%，余量为树脂。本发明提供的固结磨粒研磨垫，通过对研磨垫中磨粒层的设计，使得针对钨材料进行加工时，能够实现良好的加工效果，加工后所得钨靶材的镜面反射率≥92.8%，优选方案下能达到96.8%以上。
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