一种具有含氧桥环结构的聚合物及其制备方法、包含该聚合物的光刻胶及制备方法和光刻图形

本申请涉及一种具有含氧桥环结构的聚合物及其制备方法、包含该聚合物的光刻胶及制备方法和光刻图形。含氧桥环结构的聚合物制备包括如下原料：具有含氧桥环结构的丙烯酸单体；含有极性基团丙烯酸单体；侧链含有脱保护基团的丙烯酸单体；制备方法包括：溶解、加热反应、纯化、烘干等步骤；光刻胶包括如下各组分：含氧桥环结构的聚合物、光致产酸剂、酸扩散抑制剂、有机溶剂。本申请的光刻胶通过引入含氧桥环、脂环结构和极性基团，改善了显影对比度和溶解性，具有良好的粘附性和耐蚀刻性能。