一种基于磁控溅射导热芳纶纸的制备方法

本发明公开了一种基于磁控溅射导热芳纶纸的制备方法，具体包括以下步骤：前期对芳纶纸预处理以及靶材预处理，将已预处理的靶材安装在磁控溅射设备溅射室，将已预处理的芳纶纸用铁丝固定在磁控溅射的基片台上，正常启动磁控溅射仪器，对腔体抽真空，然后向腔体中同时通入氩气和氮气混合气体，打开挡板，开始在芳纶纸基底表面溅射沉积AIN薄膜，沉积结束后，保温一定时间，然后冷却至室温，得到表面有AIN薄膜的芳纶纸。该方法工艺简单、成本低，利用溅射方式在芳纶纸张表面镀具有高导热的薄膜，可提高芳纶纸的导热性能。