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Dossier
一种镜框镀膜装置
InventionActive
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§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
中国科学院山西煤炭化学研究所
Inventor
张斌; 庞鑫明; 宋阳; 冯阳; 薛雷; 杨慧敏; 刘瑞林
IPC Classification
C23C 16/458 (2006.01)
本发明公开了一种镜框镀膜装置,涉及表面处理技术领域,包括箱体、镜框承载组件、气体供给组件和驱动机构;镜框承载组件用于承载多个镜框;气体供给组件具有若干出气口;驱动机构用于驱动偏离所述第一轴线的所述出气口绕第一轴线旋转;通过镜框承载组件承载多个镜框结合至少一个偏离第一轴线的出气口和驱动机构带动旋转的结构,旋转的出气口作为一个机械扰动源,使反应腔内形成了一个持续扰动的气体环境,气体能够在反应腔内形成的动态环境下,让反应气体快速均匀渗透至镜框各隐蔽区域,提升镀膜均匀性;旋转出气口还能扰动反应腔的气流,加快气体的扩散速度,降低了单批次处理周期,提升了生产效率。
§ Ⅵ
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