一种宽域环境力响应的MEMS闭锁装置及方法

本发明专利提供了一种宽域环境力响应的MEMS闭锁装置及方法，涉及微机械电子技术领域，一种宽域环境力响应的MEMS闭锁装置包括上盖板、框架、保险组件、弹力件和对称分布的两个锁扣组件；所述上盖板盖合于框架表面，所述保险组件活动安装于框架内部，所述弹力件连接保险组件与框架一侧内壁，两个所述锁扣组件对称且可旋转地设置于框架内。该闭锁装置中的锁位结构有效解决了柔性变形闭锁的过载阈值限制以及刚性错位闭锁后效性差的问题，通过自主复位闭锁机制提升抗脱锁能力，确保闭锁状态稳定；同时，结构设计简单，有效降低了加工精度要求和工艺复杂度，实现轻量化和微型化，满足大规模生产与工程化应用需求。