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기록
一种硫化锌光学窗口表面氧化层的分析方法
발명유효
7청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
刘丹丹; 刘华松; 孙鹏; 张高峰; 廉伟艳; 郎垚璞; 杨仕琪
IPC 분류
G01N 21/25 (2006.01)G01R 27/26 (2006.01)G01B 21/08 (2006.01)G16C 20/30 (2019.01)G16C 20/70 (2019.01)G16C 20/80 (2019.01)
本申请提供一种硫化锌光学窗口表面氧化层的分析方法,通过先获取无氧化层窗口的光谱与厚度以精确标定硫化锌基底的本征介电函数,再建立包含表面氧化层的光学物理模型,并以其有氧化层时的测试光谱为目标,通过拟合计算同时反演出表面氧化层的物理厚度与介电函数。该方法首次实现了对硫化锌光学窗口表面氧化层厚度与光学常数(折射率与消光系数)的非破坏性、同步精确测量,有效解决了高温等特殊应用环境下表面氧化层特征难以量化分析的技术难题,为准确评估窗口性能、预测其寿命及开发高效防氧化措施提供了关键数据支撑,显著推动了硫化锌光学窗口技术的可靠性与应用发展。