一种微型集成式红外气体传感器芯片

本发明公开了一种微型集成式红外气体传感器芯片，属于传感器技术领域，包括第一晶圆和第二晶圆所述第一晶圆和第二晶圆通过合方式连接并构成光学气室；所述第一晶圆上方开有通气孔，所述光学气室内壁镀有反光膜层，设置为仅供红外光源发射的红外光通过；所述光学气室内设有周期性微纳结构；所述第二晶圆表面覆盖有绝缘膜层，所述绝缘膜层上方设置有红外光源和红外探测器。通过双晶圆键合形成光学气室，集成周期性微纳结构增强红外光与气体相互作用，结合双通道差分探测器抑制环境干扰，同时通过反光膜层、保护膜层、复合绝缘膜层等多层结构提升稳定性和选择性，最终实现微型化、高灵敏度的气体检测功能。