一种氧化镁靶材表面残留物检测方法和系统

本发明涉及氧化镁靶材检测技术领域，具体是一种氧化镁靶材表面残留物检测方法和系统，该方法包括获取待检测氧化镁靶材样品，将样品表面划分为规则的网格区域；获取第一光学图像；将微米级水雾均匀施加于样品表面获取第二光学图像；根据第一光学图像与第二光学图像转化得到水珠分布特征图像；计算水珠分布特征图像中每个网格区域内像素点的灰度值局部方差；当某个网格区域的灰度值局部方差大于洁净表面方差阈值时，则判定该网格区域存在疏水性残留物。本发明通过图像处理得到微米级水雾均匀施加于所述样品表面后样品表面水珠的分布特征，进而依据基于润湿性差异的原理识别氧化镁靶材表面的疏水性有机残留物。