缺陷检测装置、方法、计算机设备和计算机可读存储介质

本申请涉及一种缺陷检测装置、方法、计算机设备和计算机可读存储介质。所述装置包括成像子系统、结构光照明子系统和数据融合处理单元；结构光照明子系统包括耦合器件，耦合器件用于将结构光照明子系统的照明光路耦合至成像子系统的成像光路中；成像子系统，用于在结构光照明子系统向被测样品投射结构光的情况下，同步采集被测样品的光场图像，光场图像包括光场深度数据和结构光图像；数据融合处理单元，用于融合光场深度数据和结构光图像重建被测样品的三维形貌，基于三维形貌生成被测样品的缺陷检测结果。采用本装置能够提高三维形貌的重建精度，识别透明/弱纹理样品表面的微小凹坑缺陷。