一种金属零件内腔痕量金属元素检测工装及其工作方法

本发明涉及IC半导体洁净度测试技术领域，具体涉及一种金属零件内腔痕量金属元素检测方法，工装整体置于无尘环境中，包括测试台、萃取溶液槽、容积式泵和样品收集槽；所述容积式泵进口连接萃取溶液槽，萃取溶液槽内盛装酸液；容积式泵出口通过粘接1/4管的方式紧密连接零件的内腔进口端，零件放置在测试台上，测试台下方内腔出口端处安装样品收集槽。本发明测试工装主体通过1/4管连接零件内腔进口端，确保萃取酸液能够稳定恒速充满整个零件内部，液体可以充分接触金属内壁，将内壁微污染萃取到溶液中，从而进行收集检测，方法操作简便，结果可靠，为高洁净度金属零件内腔的清洁度检测提供了一种高效手段。