一种离子阱烧蚀光学系统及方法

本发明公开一种离子阱烧蚀光学系统及方法，所述系统包括：激光器和光源，分别用于发射指定脉冲的烧蚀激光和照明光束；光束调节组件，用于对激光器发射出的烧蚀激光进行位置以及传播方向的调节；二维振镜，用于将经过位置以及传播方向调节的烧蚀激光，在靶材所在x‑y平面进行位置扫描；分束镜，用于将照明光束进行反射至二向色镜；二向色镜，用于将经过二维振镜后的烧蚀激光与经过分束镜反射后的照明光束进行合束；扫描场镜模组，用于将合束后的光束光斑在指定视场范围内聚焦到所需光斑形状和大小，并照射至靶材上所在x‑y平面上。本发明能根据靶材的烧蚀程度调节烧蚀位置。